プラズマ・荷電粒子挙動解析蒸発源設計技術
金属材料の強度と変形特性を向上させるための技術基盤を構築
真空成膜装置では真空中プラズマ(電子とイオンに電離した非常に活性な物質状態)の状態が膜特性に大きく影響します。プラズマを制御するため、蒸発源を含めた電磁場設計・制御技術の開発に取り組んでいます。
展開先
関連するSDGs
関連する当社製品例
関連する最終製品例
特徴
切削工具用皮膜の結晶構造制御
成膜時のプラズマ照射強度により、膜の結晶構造や機械特性を制御した例
磁力線形状が異なる蒸発源で成膜すると、プラズマ強化型では高硬度相単相を形成できます。
厚膜TiAlNの耐エロージョン性
磁場設計・プラズマ制御による低膜応力化で厚膜形成を可能にした例
20μm超のTiAlN厚膜は、従来TiN膜の数十倍の耐エロージョン寿命が期待できます。蒸気タービンなどへの適用を計画しています。